烟气湿度在线测量主要有干湿氧法和阻容法。干湿氧法通过氧化锆检测器测定烟道的湿氧含量和在烟气分析仪中内置的氧传感器测定的经脱水后的干氧含量，根据标准换算方法可得到烟气湿度,具有操作简便、无需温度稳定的优势。但值得注意的是，现场无法提供同一测点的标准干氧，测量准确性存在一定偏差。同时依据氧化锆的物理特性，如遇到工艺样气温度猝然变冷，或含有大量水蒸气时锆管容易炸裂，且不宜测量含有还原性气体的高温烟气，大大限制其在现场应用。

　　基于阻容法开发的烟气湿度仪是目前CEMS湿度测量中应该为广泛、成熟的技术，其测量原理是依据烟气排气中含湿量变化与阻容法的电阻和电容值的变化间的函数关系，直接测量烟气排气中含有的水分量。该方法具有测量灵敏，方法简单，对其他气体无交叉干扰的优点。阻容法测量烟气湿度具有广阔的发展前景。但其在高温、强腐蚀性烟气测量中需要注重对测量探头的保护。此外，烟气湿度随烟气温度变化而发生变化，采用温度补偿还可减少水分测量的误差，进一步测量的精度。