烟气湿度仪是利用水蒸发要吸热降温，而蒸发的快慢(即降温的多少)是和当时空气的相对湿度有关这一原理制成的。其构造是用两支温度计，其一在球部用白纱布包好，将纱布另一端浸在水槽里，即由毛细作用使纱布经常保持潮湿，此即湿球。另一未用纱布包而露置于空气中的温度计，谓之干球(干球即表示气温的温度)。

　　如果空气中水蒸汽量没饱和，湿球的表面便不断地蒸发水汽，并吸取汽化热，因此湿球所表示的温度都比干球所示要低。空气越干燥(即湿度越低)，蒸发越快，不断地吸取汽化热，使湿球所示的温度降低，而与干球间的差增大。相反，当空气中的水蒸汽量呈饱和状态时，水便不再蒸发，也不吸取汽化热，湿球和干球所示的温度，即会相等。

　　基于阻容法开发的烟气湿度仪是目前CEMS湿度测量中应该为广泛、成熟的技术，其测量原理是依据烟气排气中含湿量变化与阻容法的电阻和电容值的变化间的函数关系，直接测量烟气排气中含有的水分量。该方法具有测量灵敏，方法简单，对其他气体无交叉干扰的优点。阻容法测量烟气湿度具有广阔的发展前景。但其在高温、强腐蚀性烟气测量中需要注重对测量探头的保护。此外，烟气湿度随烟气温度变化而发生变化，采用温度补偿还可减少水分测量的误差，进一步测量的精度。